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ウェハー大径化で枚葉処理の割合が多くなった半導体工場ではラピッドサーマルなんちゃらとかいうのが常識になってるのでは？
あれは短時間で最表面だけを加熱するんで中まで火を通しちゃいけない
#昔、高周波加熱技術持ってたピザ釜メーカーがアニーラー作ってたの見たことあるけどあれはどうなったんだろう
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犯人はmoriwaka -- Anonymous Coward
半導体では常識？ (スコア:0)
ウェハー大径化で枚葉処理の割合が多くなった半導体工場ではラピッドサーマルなんちゃらとかいうのが常識になってるのでは？
Re:半導体では常識？ (スコア:1)
あれは短時間で最表面だけを加熱するんで中まで火を通しちゃいけない
#昔、高周波加熱技術持ってたピザ釜メーカーがアニーラー作ってたの見たことあるけどあれはどうなったんだろう